等电位辉光放电电子温度的光谱测量与计算

核聚变与等离子体物理 ›› 2005, Vol. 25 ›› Issue (4): 300-304.

等电位辉光放电电子温度的光谱测量与计算

王建忠1 , 隗晓云1 , 徐晋勇1, 2 , 刘燕萍1 , 高原1 , 徐重1

( 1. 太原理工大学表面工程研究所, 太原030024; 2. 桂林电子工业学院, 桂林510014)

收稿日期:2005-04-07 修回日期:2005-06-15 出版日期:2005-12-15 发布日期:2013-08-22
作者简介:王建忠( 1980- ) , 男, 在读硕士研究生, 从事材料表面改性研究。
基金资助:
国家自然科学基金和上海宝钢集团公司联合资助项目( 50374050) ; 山西省自然科学基金资助项目( 20031050)

Spectrum measurement and calculation of electron temperature in glow discharge with equivalent electric potential

WANG Jian-zhong1, KUI Xiao-yun1, XU Jin-yong1, 2,LIU Yan-ping1 , GAO Yuan1 , XU Zhong1

( 1. Research Institute of Surface Engineering,Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024; 2. Guiling University of Electronic Technology, Guilin 510014)

Received:2005-04-07 Revised:2005-06-15 Online:2005-12-15 Published:2013-08-22

摘要/Abstract

摘要：

用SII- IV 型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下双层辉光等电位放电的发射光谱的相对强度进行了测量, 获得一系列光谱谱线。通过对玻尔兹曼方程式的计算, 得到了不同工艺条件下等离子放电时的电子温度。分析了工件电压、工作气压对电子温度的影响。结果表明: 在本工艺条件下, 电子温度随着工件电压的升高, 先减小后增大, 然后又减小, 并随着工作气压的增大而单调增大。工作气压的变化较工件电压的变化对电子温度的影响大。

关键词: 电子温度, 辉光放电, 发射光谱, 光谱分析

Abstract:

A series of spectral lines of emissive spectrum with relative intensity in double glow discharge of equivalent electric potent ial under different processing parameters using SII-IV type holographic concave grating monochrometer has been acquired. Electron temperature for different processes was achieved by solving Boltzmann equation. The influence of the work piece voltage and the work pressure upon electron temperature has been analyzed. The results indicate that electron temperature reduced initially, then increased, but reduced again with the work piece voltage increase; and it increased with the work pressure increase in this process. The electron temperature change due to change of work pressure is more great than that of the work piece voltage.

Key words: Electron temperature, Glow discharge, Emission spectrum, Spectrum analysis

中图分类号:

O539

王建忠1 , 隗晓云1 , 徐晋勇1, 2 , 刘燕萍1 , 高原1 , 徐重1. 等电位辉光放电电子温度的光谱测量与计算[J]. 核聚变与等离子体物理, 2005, 25(4): 300-304.

WANG Jian-zhong1, KUI Xiao-yun1, XU Jin-yong1, 2,LIU Yan-ping1 , GAO Yuan1 , XU Zhong1. Spectrum measurement and calculation of electron temperature in glow discharge with equivalent electric potential[J]. NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS, 2005, 25(4): 300-304.

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