工件靶台复合加速离子注入系统中的靶台偏压效应
朱宗涛1，巩春志1，汪志健1，田修波1，杨士勤1，Ricky Fu2
Effect of bias voltage applied to target in hybrid- acceleration ion implantation system
ZHU Zong-tao, GONG Chun-zhi, WANG Zhi-jian, TIAN Xiu-bo, YANG Shi-qin, Ricky Fu
核聚变与等离子体物理
.
2012, (3): 260
-264
.
