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N 2-Ar射频放电表面氮化的等离子体特性模拟
孙 倩，杨 莹，赵海涛，郝莹莹，张连珠，赵国明
N 2-Ar rf discharge surface nitriding plasma characteristics simulation
SUN Qian, YANG Ying, ZHAO Hai-tao, HAO Ying-ying, ZHANG Lian-zhu, ZHAO Guo-ming
核聚变与等离子体物理 . 2012, (2): 128 -132 . 

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