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主管单位:核工业西南物理研究院
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ISSN 0254-6086 CN 51-1151/TL
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氢气甚高频与高频容性耦合放电等离子体特征的比较
姚福宝, 郝莹莹, 张连珠, 赵海涛
Comparison between capacitively coupled VHF and high frequency discharge in H
2
YAO Fu-bao, HAO Ying-ying, ZHANG Lian-zhu, ZHAO Hai-tao
核聚变与等离子体物理 . 2011, (
4
): 320 -326 .