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射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜的影响
齐雪莲，任春生，张 健，麻冰欣，马腾才
Radio-frequency influences on Cu film deposited by unbalanced magnetron sputtering
QI Xue-lian, REN Chun-sheng, ZHANG Jian, MA Bing-xin, MA Teng-cai
核聚变与等离子体物理 . 2007, (3): 264 -268 . 

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