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工作参数对平面直流磁控溅射放电特性的影响
邱清泉, 励庆孚, 苏静静, JIAO Yu , Finley Jim
Influence of operating parameters on discharge characteristics of planar DC magnetron
QIU Qing-quan, LI Qing-fu, SU Jing-jing, JIAO Yu , Finley Jim
核聚变与等离子体物理 . 2009, (2): 182 -188 . 

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