外界磁场和天线构型对射频等离子体微放电的影响研究
张金恒, 苌 磊, 杨 鑫, 周海山, 罗广南
Study on the influence of external magnetic field and antenna configuration on radio-frequency plasma microdischarge
ZHANG Jin-heng, CHANG Lei, YANG Xin, ZHOU Hai-shan, LUO Guang-nan
核工业西南物理研究院
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2025, (1): 117
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DOI: 10.16568/j.0254-6086.202501019