核工业西南物理研究院 ›› 2004, Vol. 24 ›› Issue (1): 67-72.
孙秋普1,邓新绿2,马腾才2,宋远红2
SUN Qiu-pu1,DENG Xin-lu2,MA Teng-cai2,SONG Yuan-hong2
摘要: 介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法——“降落法”,并利用这种方法测量了双共振腔 ECR 微波等离子体源的空间电位分布,从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下 Ar 等离子体空间电位的分布情况。
中图分类号: