低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

核聚变与等离子体物理 ›› 2009, Vol. 29 ›› Issue (1): 92-96.

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低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

赵杰, 唐德礼, 程昌明, 耿少飞

(核工业西南物理研究院，成都 610041)

收稿日期:2008-02-21 修回日期:2008-09-20 出版日期:2009-03-15 发布日期:2010-05-24
作者简介:赵杰(1980-)，男，山东菏泽人，硕士，主要从事离子源、低温等离子体应用方面的研究。

Characteristics of the low power cylindrical anode layer ion source

ZHAO Jie, TANG De-li, CHENG Chang-ming, GENG Shao-fei

(Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610064)

Received:2008-02-21 Revised:2008-09-20 Online:2009-03-15 Published:2010-05-24

摘要/Abstract

摘要： 介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性。离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V，放电电流0.1～1.4A，工作气压1.9×10^-2～1.7×10^-1Pa，气体流量5～20sccm。离子源有两个工作状态：发散状态和准直性状态。

关键词: 圆柱形阳极层离子源, 离子束, 发散状态, 准直性状态

Abstract: A low power cylindrical anode layer ion source and its working characteristic, and the beam distribution are introduced. This ion source has two working states, emanative state and collimated state, and the normal parameters of this system are: working voltage 200～1200V, discharge current 0.1～1.4A, air pressure 1.9×10^-2～1.7×10^-1Pa, gas flow 5～20sccm.

Key words: Cylindrical, Anode layer ion source, Ion beam, Emanative state, Collimated state

中图分类号:

O539

赵杰, 唐德礼, 程昌明, 耿少飞. 低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究[J]. 核聚变与等离子体物理, 2009, 29(1): 92-96.

ZHAO Jie, TANG De-li, CHENG Chang-ming, GENG Shao-fei. Characteristics of the low power cylindrical anode layer ion source[J]. NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS, 2009, 29(1): 92-96.

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低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

Characteristics of the low power cylindrical anode layer ion source

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