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MPCVD中甲烷等离子体发射光谱研究
郑晓毅，徐 伟，吴智量，许百如
Research of the emission spectrum of methane plasma in MPCVD
ZHENG Xiao-yi, XU Wei, WU Zhi-liang, XU Bai-ru
核聚变与等离子体物理 . 2012, (3): 278 -282 . 

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