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SiCl4等离子体中的中性基团质谱测量
王照奎1，2，林揆训2，娄艳辉1，林璇英2，祝祖送2
Mass spectrometric measurements of SiCl n( n=0~2) spatial distribution in SiCl 4 plasma
WANG Zhao-kui, LIN Kui-xun, LOU Yan-hui, LIN Xuan-ying, ZHU Zu-song
核聚变与等离子体物理 . 2006, (3): 252 -256 . 

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