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常见磁控溅射靶材利用率及其计算方法的探讨
赵嘉学，金凡亚
Investigation of utilization ratio and calculating method of familiar magnetron sputtering targets
ZHAO Jia-xue, JIN Fan-y
核聚变与等离子体物理 . 2007, (1): 66 -73 . 

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