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用在线椭偏仪研究非晶碳氢膜沉积和刻蚀过程
孙超，徐军，马腾才
Deposition and erosion study on amorphous hydrocarbon films by in situ ellipsometry
SUN Chao, XU Jun, MA Teng-cai
核聚变与等离子体物理 . 2007, (2): 163 -167 . 

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