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等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究
汪明刚，刘杰，杨威风，李超波，夏洋
Plasma immersion ion implantation for ultra low energy doping
WANG Ming-gang, LIU Jie, YANG Wei-feng, LI Chao-bo, XIA Yang
核聚变与等离子体物理 . 2010, (4): 370 -373 . 

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