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脉冲偏压占空比对多孔氧化硅薄膜性质的影响
杨沁玉，刘 磊，丁 可，张 菁，王庆瑞
The effect of pulsed plasma duty cycle on the characters of porous silica films
YANG Qin-yu, LIU Lei, DING Ke, ZHANG Jing, WANG Qiang-rui
核聚变与等离子体物理 . 2010, (2): 189 -192 . 

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