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非平衡磁控溅射等离子体频谱特征
牟宗信,牟晓东,贾 莉,张鹏云,刘升光,董 闯
Properties of plasma frequency spectrum of the unbalanced magnetron sputtering
MU Zong-xin, MU Xiao-dong, JIA Li, ZHANG Peng-yun, LIU Sheng-guang, DONG Chuang
核聚变与等离子体物理 . 2010, (2): 169 -172 .