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射频偏置 ECR-PECVD 等离子体参数测量
许沭华, 任兆杏, 沈克明
Measurement of plasma parameters in rf-biased ECR-PECVD#br#
XU Shu-hua, REN Zhao-xing, SHEN Ke-ming
核工业西南物理研究院 . 2004, (1): 63 -66 . 

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