核聚变与等离子体物理 ›› 2016, Vol. 36 ›› Issue (3): 243-246.DOI: 10.16568/j.0254-6086.201603010
陈俞钱,谢亚红*,胡纯栋,蒋才超,崔庆龙
CHEN Yu-qian, XIE Ya-hong, HU Chun-dong, JIANG Cai-chao, CUI Qing-long
摘要:
为探究射频离子源驱动器线圈电气参数对射频放电的影响,主要进行了射频离子源等离子体激发的物理分析,并计算了射频电源的频率选择与线圈放电电流、线圈匝间电压以及放电气压之间的关系,设计了射频离子源驱动器的主要参数。研制的射频离子源驱动器装置,成功获得氢等离子体射频放电。实验结果和理论计算结果符合很好。
中图分类号: