大型真空装置漏放率的动态质谱测量法

核聚变与等离子体物理 ›› 2005, Vol. 25 ›› Issue (3): 233-236.

大型真空装置漏放率的动态质谱测量法

王志文, 谢世标, 韦卫星

( 广西民族学院, 南宁530006)

收稿日期:2005-01-12 修回日期:2005-05-12 出版日期:2005-09-15 发布日期:2013-09-02
作者简介:王志文( 1969- ) , 男, 四川省华蓥市, 副研究员, 主要从事真空表面和低温等离子体物理研究。

QMS methods for dynamic measurement of leak and outgassing rate of large vacuum chamber

WANG Zhi- wen, XIE Shi- biao,WEI Wei- xing

( Guangxi University for Nationalities,Nanning 530006)

Received:2005-01-12 Revised:2005-05-12 Online:2005-09-15 Published:2013-09-02

摘要/Abstract

摘要：

根据质谱分析技术和气体动力学方程, 提出了一种用质谱测量法对大型真空装置漏放率的测试方法。结合计算机技术能对装置运行状态的漏放率进行巡回检测, 并成功地应用于HL-1M 装置。

关键词: 质谱分析, 漏放率, 检测

Abstract:

According to the gas dynamics and the technique of quadruple mass spectrometry (QMS) , a method for measuring large device vacuum leak rate is put forward. The vacuum leak and outgassing rate can be inspected iteratively with combining computer technique, and this method has applied successfully on the HL-1M tokamak.

Key words: QMS analysis, Leak and outgassing rate;Measurement

中图分类号:

TN107

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