HL-2M 装置真空抽气系统的研制

doi:10.16568/j.0254-6086.2021s1014

核聚变与等离子体物理 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (s1): 355-359.DOI: 10.16568/j.0254-6086.2021s1014

HL-2M 装置真空抽气系统的研制

蔡潇，曹曾，张炜，李瑞鋆，冉红，蔡立君

(核工业西南物理研究院，成都 610041)

收稿日期:2021-04-15 修回日期:2021-07-31 出版日期:2021-10-15 发布日期:2021-11-19

Development of HL-2M vacuum pre-pumping system

CAI Xiao, CAO Zeng, ZHANG Wei, LI Rui-jun, RAN Hong, CAI Li-jun

(Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041)

Received:2021-04-15 Revised:2021-07-31 Online:2021-10-15 Published:2021-11-19

摘要/Abstract

摘要： HL-2M 装置真空抽气系统包括 4 套涡轮分子泵机组和 4 套低温泵机组。辅助系统主要由设备逻辑
控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统 3 部分组成。真空室经过 100℃烘烤后真空度达到 2.3×10⁻⁶Pa，
超过了设计预期真空度，满足超高真空技术要求。

关键词: 超高真空；抽气系统；真空室；有效抽速

Abstract: HL-2M vacuum pre-pumping system is composed of four turbo molecular pump units and four
cryo-pump units. Vacuum degree of 2.3×10⁻⁶Pa was achieved, after 100℃ baking of the vacuum chamber, which
exceeded the design requirement and satisfied HL-2M plasma discharges.

Key words: Ultra high vacuum, Pumping system, Vacuum chamber, Effective pumping speed

中图分类号:

TL62+8

蔡潇, 曹曾, 张炜, 李瑞鋆, 冉红, 蔡立君. HL-2M 装置真空抽气系统的研制[J]. 核聚变与等离子体物理, 2021, 41(s1): 355-359.

CAI Xiao, CAO Zeng, ZHANG Wei, LI Rui-jun, RAN Hong, CAI Li-jun . Development of HL-2M vacuum pre-pumping system [J]. Nuclear Fusion and Plasma Physics, 2021, 41(s1): 355-359.

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HL-2M 装置真空抽气系统的研制

Development of HL-2M vacuum pre-pumping system

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